FreeDATA

ライセンス: 無料 ‎ファイルサイズ: N/A
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焦点露光マトリックスとも呼ばれるBossung型データセットを適合させることができるマイクロリソグラフィデータ分析パッケージ。 キーワード: リソグラフィ, フォトリソグラフィ, フォトレジスト, プロセスウィンドウ, クリティカルディメンション, CD, ボスン, FEM

バージョン履歴

  • バージョン N/A に転記 2011-08-11
    いくつかの修正と更新
  • バージョン N/A に転記 2011-08-11

プログラムの詳細

  • カテゴリ: 開発 >
  • パブリッシャー: freedata.sf.net
  • ライセンス: 無料
  • 価格: N/A
  • バージョン: Array
  • プラットフォーム: windows