焦点露光マトリックスとも呼ばれるBossung型データセットを適合させることができるマイクロリソグラフィデータ分析パッケージ。 キーワード: リソグラフィ, フォトリソグラフィ, フォトレジスト, プロセスウィンドウ, クリティカルディメンション, CD, ボスン, FEM
バージョン履歴
- バージョン N/A に転記 2011-08-11
いくつかの修正と更新 - バージョン N/A に転記 2011-08-11
プログラムの詳細
- カテゴリ: 開発 > 他
- パブリッシャー: freedata.sf.net
- ライセンス: 無料
- 価格: N/A
- バージョン: Array
- プラットフォーム: windows