プログラム freedata.sf.net

焦点露光マトリックスとも呼ばれるBossung型データセットを適合させることができるマイクロリソグラフィデータ分析パッケージ。キーワード: リソグラフィ, フォトリソグラフィ, フォトレジスト, プロセスウィンドウ, クリティカルディメンション, CD, ボスン, FEM