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焦点露光マトリックスとも呼ばれるBossung型データセットを適合させることができるマイクロリソグラフィデータ分析パッケージ。 キーワード: リソグラフィ, フォトリソグラフィ, フォトレジスト, プロセスウィンドウ, クリティカルディメンション, CD, ボスン, FEM