FreeDATA
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http://freedata.cvs.sourceforge.net/freedata
に関しては FreeDATA
焦点露光マトリックスとも呼ばれるBossung型データセットを適合させることができるマイクロリソグラフィデータ分析パッケージ。 キーワード: リソグラフィ, フォトリソグラフィ, フォトレジスト, プロセスウィンドウ, クリティカルディメンション, CD, ボスン, FEM
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